发明名称 METHOD AND DEVICE FOR INSTALLING MAIN BODY OF X-RAY EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04171807(A) 申请公布日期 1992.06.19
申请号 JP19900299444 申请日期 1990.11.05
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ISHIBASHI YORIYUKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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