| 发明名称 |
SUBSTRATE ROTATING TYPE SURFACE TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04171931(A) |
申请公布日期 |
1992.06.19 |
| 申请号 |
JP19900301872 |
申请日期 |
1990.11.06 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
TANAKA MASATO |
| 分类号 |
H01L21/302;B05D1/00;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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