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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04171918(A) 申请公布日期 1992.06.19
申请号 JP19900300704 申请日期 1990.11.06
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD;KIYUUSHIYUU FUJITSUU EREKUTORONIKUSU:KK 发明人 OTSUKA TATSUYA;YASUI MASARU
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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