发明名称 VIRTUAL MEASURING DEVICE, DIGITAL-SIGNAL PROCESSING DEVICE, ELECTRONIC-DEVICE ADJUSTING APPARATUS AND SEMICONDUCTOR TESTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04172271(A) 申请公布日期 1992.06.19
申请号 JP19900297266 申请日期 1990.11.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 UENO TOSHIAKI;IKEUCHI FUMIO
分类号 G01R31/319;G01R23/16;G01R31/28;H03M1/10 主分类号 G01R31/319
代理机构 代理人
主权项
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