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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04171645(A)
申请公布日期
1992.06.18
申请号
JP19900299626
申请日期
1990.11.05
申请人
JEOL LTD
发明人
NORIOKA SETSUO
分类号
H01J37/20;H01J37/09;H01J37/16;H01J37/28
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
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