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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR WASHING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH04171725(A)
申请公布日期
1992.06.18
申请号
JP19900299270
申请日期
1990.11.05
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KANAMORI YUKIO
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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