发明名称 LASER IRRADIATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH04171717(A) 申请公布日期 1992.06.18
申请号 JP19900298165 申请日期 1990.11.02
申请人 SONY CORP 发明人 NOGUCHI TAKASHI;SUZUKI TOSHIHARU
分类号 H01L21/20;H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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