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发明名称 Schaltungsanordnung zur Realisierung bestimmter typischer Prozessschritte beim Herstellen und/oder Pruefen von Halbleiterbauelementen,insbesondere zum automatischen Einordnen beliebiger Fremdstrukturen in ein Rasterschema
摘要
申请公布号 DE1948661(A1) 申请公布日期 1970.05.06
申请号 DE19691948661 申请日期 1969.09.26
申请人 MOLEKULARELEKTRONIK 发明人 KURT DRESCHER DR;REINHARD SPRINGER DIPL-PHYS
分类号 G05B19/04;G05B19/10 主分类号 G05B19/04
代理机构 代理人
主权项
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