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发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04170025(A) 申请公布日期 1992.06.17
申请号 JP19900296532 申请日期 1990.11.01
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 TANABE MASABUMI;MATSUDA AKIO;MAKI MASATO;HAYASHI TOSHIO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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