Method for centering of electron beam.

摘要

Beim Führen und Zentrieren eines Elektronenstrahles (3) mittels einem zur Achse des Elektronenstrahles orthogonal angeordneten Magnetfeldes in einer Vakuumbeschichtungsanlage (1) werden die Signale, welche für die Ausgestaltung und Steuerung des Magnetfeldes, resp. dessen Rotationsachse massgebend sind, durch Detektieren des Brennfleckes des Elektronenstrahles auf der Oberfläche der Verdampferquelle (4) mittels eines Videosystems resp. mittels einer Videokamera (42) und einem entsprechenden Bildauswerter (43) geliefert. <IMAGE>