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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG SELEKTIV BEDAMPFTER STRUKTUREN
摘要
申请公布号 DE4039699(A1) 申请公布日期 1992.06.17
申请号 DE19904039699 申请日期 1990.12.12
申请人 BASF AG, 6700 LUDWIGSHAFEN, DE 发明人 PETERMANN, JUERGEN, PROF. DR., 2150 BUXTEHUDE, DE;JANDT, KLAUS;HOFFMANN, THOMAS, 2000 HAMBURG, DE
分类号 C23C14/02;C23C14/04;C23C14/20;C23C14/24;G03F7/20;H01L21/203;H01L21/302 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
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