| 发明名称 |
DAMPFPHASEVERFAHREN ZUM ABLAGERN VON MATERIAL. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3485722(D1) |
申请公布日期 |
1992.06.17 |
| 申请号 |
DE19843485722 |
申请日期 |
1984.11.07 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPHONE & TELEGRAPH |
发明人 |
COX MICHAEL |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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