| 摘要 |
Appareil de nettoyage des surfaces intérieures d'une cuve (1), comprenant une tête de nettoyage (2) supportée et guidée dans ladite cuve par un conduit d'air (3) rigide. Ladite tête de nettoyage (2) est alimentée en fluide de traitement, elle oriente et elle élimine le fluide de traitement d'une zone de nettoyage située sur la surface intérieure de ladite cuve (1). Le fluide de traitement est chauffé par un ensemble (5) de tuyaux d'échange thermique, lequel est relié au conduit d'air (3). Ledit appareil utilise un écoulement de fluide à turbulences, un choc thermique, des vibrations ultrasoniques et/ou des vibrations piézo-électriques afin de déloger les particules des surfaces intérieures de la cuve. Ledit appareil est utile pour nettoyer des réacteurs de déposition en phase gazeuse par procédé chimique ainsi que d'autres cuves similaires. |
