发明名称 TESTING DEVICE FOR LSI
摘要
申请公布号 JPH04169877(A) 申请公布日期 1992.06.17
申请号 JP19900297474 申请日期 1990.11.02
申请人 NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 SUZUKI SHINOBU
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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