发明名称 Semiconductor device comprising a silicide layer, and method of making the device
摘要
申请公布号 US5122479(A) 申请公布日期 1992.06.16
申请号 US19910683891 申请日期 1991.04.11
申请人 AT&T BELL LABORATORIES 发明人 AUDET, SARAH A.;RAFFERTY, CONOR S.;SHORT, KENNETH T.;WHITE, ALICE E.
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/285 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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