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发明名称 METHOD OF PRODUCING AN X-RAY MIRROR BY SPIN COATING AN INTERMEDIATE LAYER ONTO A SUBSTRATE AND USING CLUSTER ION BEAM DEPOSITION TO FORM A THIN FILM IN THE SPIN COATED LAYER
摘要
申请公布号 US5122388(A) 申请公布日期 1992.06.16
申请号 US19910704847 申请日期 1991.05.20
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 HASHIMOTO, YOICHI;INOUE, MASAMI
分类号 G02B5/08;G21K1/06 主分类号 G02B5/08
代理机构 代理人
主权项
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