发明名称 PROBE FOR LSI
摘要
申请公布号 JPH04168366(A) 申请公布日期 1992.06.16
申请号 JP19900296061 申请日期 1990.10.31
申请人 NEC CORP 发明人 SUGAWARA AKIHIKO
分类号 G01R31/26;G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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