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经营范围
发明名称
PROBE FOR LSI
摘要
申请公布号
JPH04168366(A)
申请公布日期
1992.06.16
申请号
JP19900296061
申请日期
1990.10.31
申请人
NEC CORP
发明人
SUGAWARA AKIHIKO
分类号
G01R31/26;G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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