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发明名称 FLAT PLATE HANDLING DEVICE AND ETCHING SYSTEM UTILIZING THIS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04168287(A) 申请公布日期 1992.06.16
申请号 JP19900292807 申请日期 1990.10.30
申请人 NIHON DENSO KOUGIYOU KK 发明人 MURAKOSHI HIDEFUMI
分类号 C23F4/00;B65G27/24;B65H5/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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