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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04168727(A)
申请公布日期
1992.06.16
申请号
JP19900295943
申请日期
1990.11.01
申请人
NEC YAMAGATA LTD
发明人
YAMAGUCHI JUNICHI
分类号
H01L21/3213;H01L21/3205;H01L23/52
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
主权项
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