发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04168722(A) 申请公布日期 1992.06.16
申请号 JP19900296362 申请日期 1990.10.31
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HAN SEIKOU
分类号 H01L21/205;H01L21/203;H01L21/26;H01L21/261 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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