发明名称 MANUFACTURE OF MOS INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04168728(A) 申请公布日期 1992.06.16
申请号 JP19900295955 申请日期 1990.11.01
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SAITO YASUNOBU
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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