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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04167516(A)
申请公布日期
1992.06.15
申请号
JP19900294709
申请日期
1990.10.31
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MATSUDA HIDEYUKI
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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