发明名称 MANUFACTURE OF MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH04167528(A) 申请公布日期 1992.06.15
申请号 JP19900294832 申请日期 1990.10.31
申请人 SEIKOSHA CO LTD;NIPPON PRECISION CIRCUITS KK 发明人 NOMURA YOSHIO;KODERA KENJI
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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