发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04167426(A) 申请公布日期 1992.06.15
申请号 JP19900294485 申请日期 1990.10.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOBAYASHI TORU
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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