| 发明名称 |
CELL FOR THIN-FILM SURFACE OBSERVATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04167443(A) |
申请公布日期 |
1992.06.15 |
| 申请号 |
JP19900292166 |
申请日期 |
1990.10.31 |
| 申请人 |
OLYMPUS OPTICAL CO LTD |
发明人 |
KOSHIISHI KIYOZO;SHIMOMURA MASATSUGU;SHINOHARA ETSUO;SHIGETOMI SADAO |
| 分类号 |
G01N21/01;G01Q30/08;G01Q30/20;H01J37/20;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/01 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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