| 摘要 |
<P>L'appareil pour dépôt en phase vapeur à haute température comprend une enceinte (6) isolante thermiquement, des premier, deuxième et troisième diffuseurs (3, 4, 5) pour constituer des première, deuxième et troisième zones de chauffage isotherme respectivement autour des premier, deuxième et troisième compartiments (21, 22, 23) d'un creuset fermé amovible (1) destiné à contenir un matériau source dans le premier compartiment (21) et un substrat dans le deuxième compartiment (22). <BR/> Les premier, deuxième et troisième diffuseurs (3, 4, 5) sont par construction indépendants thermiquement les uns des autres et présentent chacun une section en forme de U pour enserrer respectivement les premier, deuxième et troisième compartiments (21 à 23) du creuset. Ces premier, deuxième et troisième compartiments (21 à 23) sont disposés de façon non alignée, selon une ligne brisée, de telle sorte que les décalages angulaires assurent un découplage thermique radiatif entre les premier, deuxième et troisième compartiments (21 à 23).</P>
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