发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING VERTICAL DYNAMIC RANDOM ACCESS MEMORY |
摘要 |
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申请公布号 |
KR920004658(B1) |
申请公布日期 |
1992.06.12 |
申请号 |
KR19880016397 |
申请日期 |
1988.12.09 |
申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
GAGA, DORU;GAWAMOTTO, YOSHIFUMI;SUNAMI, HIDEO |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/28;H01L21/311;H01L21/334;H01L21/762;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/06;H01L29/51;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/108;G11C11/34 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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