发明名称 METHOD OF MANUFACTURING VERTICAL DYNAMIC RANDOM ACCESS MEMORY
摘要
申请公布号 KR920004658(B1) 申请公布日期 1992.06.12
申请号 KR19880016397 申请日期 1988.12.09
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 GAGA, DORU;GAWAMOTTO, YOSHIFUMI;SUNAMI, HIDEO
分类号 H01L27/04;H01L21/28;H01L21/311;H01L21/334;H01L21/762;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/06;H01L29/51;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/108;G11C11/34 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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