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经营范围
发明名称
VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH04165622(A)
申请公布日期
1992.06.11
申请号
JP19900290827
申请日期
1990.10.30
申请人
OLYMPUS OPTICAL CO LTD
发明人
KARATSU KAZUHIRO
分类号
H01L21/205;H01L21/316
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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