发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04165622(A) 申请公布日期 1992.06.11
申请号 JP19900290827 申请日期 1990.10.30
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 KARATSU KAZUHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/316 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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