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发明名称 REKRISTALLISATIONSVERFAHREN FUER LEITENDE SCHICHTEN.
摘要
申请公布号 DE3685202(D1) 申请公布日期 1992.06.11
申请号 DE19863685202 申请日期 1986.12.03
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 MUKAI, RYOICHI FUJITSU LTD. KOSUGI FUJITSU, NAKAHARA-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP
分类号 C30B1/08;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B1/08
代理机构 代理人
主权项
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