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ORTSFESTE MAGNETRON-ZERSTAEUBUNGSKATHODE FUER VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGEN
摘要
申请公布号
DE4039101(A1)
申请公布日期
1992.06.11
申请号
DE19904039101
申请日期
1990.12.07
申请人
LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE
发明人
MAASS, WOLFRAM, DR., 6455 ERLENSEE, DE;PATZ, ULRICH, DR., 6464 LINSENGERICHT, DE
分类号
C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
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