发明名称 MANUFACTURE OF BURIED PHOTOELECTRONIC INTEGRATED ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04165672(A) 申请公布日期 1992.06.11
申请号 JP19900294082 申请日期 1990.10.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHIBA TETSUO;TAKAHASHI SHOGO
分类号 H01L27/14;H01L21/205;H01L21/8252;H01L27/144 主分类号 H01L27/14
代理机构 代理人
主权项
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