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发明名称 CRUCIBLE FOR VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPH04165066(A) 申请公布日期 1992.06.10
申请号 JP19900289835 申请日期 1990.10.25
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 IWAMOTO HIROMI
分类号 C23C14/24;H01L21/203 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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