发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04164374(A) 申请公布日期 1992.06.10
申请号 JP19900292409 申请日期 1990.10.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YOSHIMURA MASASUKE;NAGURA HIDEAKI;YOKOZAWA MASAMI
分类号 H01L29/866 主分类号 H01L29/866
代理机构 代理人
主权项
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