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经营范围
发明名称
HIGH TEMPERATURE LIFT-OFF PROCESS
摘要
申请公布号
EP0421053(A3)
申请公布日期
1992.06.10
申请号
EP19900110403
申请日期
1990.06.01
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
PREVITI-KELLY, ROSEMARY ANN
分类号
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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