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发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04164324(A)
申请公布日期
1992.06.10
申请号
JP19900291563
申请日期
1990.10.29
申请人
NEC CORP
发明人
HIRAKAWA KATSUNORI
分类号
B08B3/12;B28D5/00;H01L21/304
主分类号
B08B3/12
代理机构
代理人
主权项
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