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发明名称
SPUTTERING SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH04165068(A)
申请公布日期
1992.06.10
申请号
JP19900289010
申请日期
1990.10.26
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
TASHIRO NAOTO
分类号
C23C14/34;C23C14/54;H01L21/203
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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