发明名称 IONISED VAPOUR SOURCE
摘要
申请公布号 GB9208673(D0) 申请公布日期 1992.06.10
申请号 GB19920008673 申请日期 1992.04.22
申请人 ION COAT LTD. 发明人
分类号 C23C14/32;C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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