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发明名称 METHOD OF DRY ETCHING ALUMINUM
摘要
申请公布号 EP0289131(B1) 申请公布日期 1992.06.10
申请号 EP19880302615 申请日期 1988.03.24
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 NAKAMURA, MORITAKA;KURIMOTO, TAKASHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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