发明名称 METHOD FOR GROWING SEMICONDUCTOR CRYSTAL FILM
摘要
申请公布号 JPH04164895(A) 申请公布日期 1992.06.10
申请号 JP19900288665 申请日期 1990.10.25
申请人 NICHIA CHEM IND LTD 发明人 NAKAMURA SHUJI
分类号 C30B25/14;C30B29/38;H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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