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发明名称
摘要
申请公布号
DE1521956(C2)
申请公布日期
1970.09.17
申请号
DE1963S086211
申请日期
1963.07.17
申请人
发明人
分类号
C30B25/02;H01L21/205;H01L21/3065
主分类号
C30B25/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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