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发明名称 PHOTO ASSISTED CVD EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH04163911(A) 申请公布日期 1992.06.09
申请号 JP19900291092 申请日期 1990.10.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMASHITA YOSHIMI
分类号 H01L21/285;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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