发明名称
摘要
申请公布号 JPH0434819(B2) 申请公布日期 1992.06.09
申请号 JP19830011970 申请日期 1983.01.27
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MOMOSE HIROSHI
分类号 H01L21/033;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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