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摘要
申请公布号
JPH0434819(B2)
申请公布日期
1992.06.09
申请号
JP19830011970
申请日期
1983.01.27
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
MOMOSE HIROSHI
分类号
H01L21/033;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78
主分类号
H01L21/033
代理机构
代理人
主权项
地址
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