发明名称 |
MANUFACTURE OF SOLID-STATE IMAGE SENSING ELEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04162670(A) |
申请公布日期 |
1992.06.08 |
申请号 |
JP19900289768 |
申请日期 |
1990.10.25 |
申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
FUKUBA NOBUYUKI;YAMAMOTO IKUO;IWATA KOJI;HISATOMI YUICHI |
分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L27/14;H01L27/146 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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