发明名称 MANUFACTURE OF SOLID-STATE IMAGE SENSING ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04162670(A) 申请公布日期 1992.06.08
申请号 JP19900289768 申请日期 1990.10.25
申请人 SHARP CORP 发明人 FUKUBA NOBUYUKI;YAMAMOTO IKUO;IWATA KOJI;HISATOMI YUICHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L27/14;H01L27/146 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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