| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04162663(A) |
申请公布日期 |
1992.06.08 |
| 申请号 |
JP19900287003 |
申请日期 |
1990.10.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MOCHIZUKI KAZUHIRO;TAGAMI TOMONORI;KAWADA MASAHIKO;MASUDA HIROSHI;MITANI KATSUHIKO;KUSANO CHUSHIRO |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8228;H01L27/082;H01L29/205;H01L29/737 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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