发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04162634(A) 申请公布日期 1992.06.08
申请号 JP19900287102 申请日期 1990.10.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUJISAKI YOSHIHISA;HAGA TORU
分类号 H01L21/265;H01L21/324;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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