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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04162718(A) 申请公布日期 1992.06.08
申请号 JP19900288968 申请日期 1990.10.26
申请人 NEC CORP 发明人 KAWAGUCHI MASATERU
分类号 H01L21/8238;H01L21/265;H01L27/092 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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