发明名称 SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH04162340(A) 申请公布日期 1992.06.05
申请号 JP19900286981 申请日期 1990.10.26
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 TAZAKI HIROSHI;SAITO KEISUKE;NAKAMURA YASUSHI;FUNAZAKI JUN;KAJIMURA HIROSHI;TOMABECHI HIDEO
分类号 G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q60/38;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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