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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0434306(B2) 申请公布日期 1992.06.05
申请号 JP19870005821 申请日期 1987.01.13
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YOSHIKAWA KUNYOSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/762;H01L21/764 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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