| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR VAKUUMBOGENVERDAMPFUNG MIT STEUERBARER KATODENFLECKBEWEGUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DD300312(A7) |
申请公布日期 |
1992.06.04 |
| 申请号 |
DD19880321879 |
申请日期 |
1988.11.17 |
| 申请人 |
TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ |
发明人 |
VETTER JOERG;ROTHER BERND;SIEGEL JAN |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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