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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04160744(A) 申请公布日期 1992.06.04
申请号 JP19900283868 申请日期 1990.10.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOIKE HIDEKI
分类号 C23C14/48;H01J37/05;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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